TMC主動(dòng)壓電消振SEM-Base VI 用于SEM和FIB

更新時(shí)間：2024-10-08

簡(jiǎn)要描述：

TMC主動(dòng)壓電消振SEM-Base VI 用于SEM和FIB，是專為掃描電子顯微鏡所設(shè)計(jì)的。掃描電子顯微鏡是振動(dòng)敏感的儀器，而且這些精密儀器都有內(nèi)置的隔振系統(tǒng)，SEM-Base可以兼容SEM內(nèi)部預(yù)裝的振動(dòng)隔離系統(tǒng)。

TMC主動(dòng)壓電消振SEM-Base VI 用于SEM和FIB

SEM-Base® VI是下一代STACIS主動(dòng)壓電消振產(chǎn)品。SEM-Base VI被設(shè)計(jì)用于支撐所有商用掃描電子顯微鏡（SEM）以及許多聚焦離子束（FIB）和小型雙光束儀器。SEM-Base VI具有更好的隔振性能、更快、更強(qiáng)大的控制器和高級(jí)圖形用戶界面（GUI）。SEM-Base VI使許多實(shí)驗(yàn)室和設(shè)施達(dá)到了滿足工具制造商規(guī)格所需的地面振動(dòng)水平。

SEM-Base VI采用D特的“串行結(jié)構(gòu)"，其中的振動(dòng)傳感器測(cè)量地面振動(dòng)，而不是有效載荷振動(dòng)。與其他設(shè)計(jì)不同，這確保了有效載荷共振不會(huì)限制隔振或造成不穩(wěn)定。振動(dòng)傳感器是低頻慣性速度傳感器，在難以測(cè)量的亞Hz范圍內(nèi)具有最大靈敏度。結(jié)合我們D特的壓電致動(dòng)器技術(shù)，SEM-Base VI即使在安靜的地面上也能實(shí)現(xiàn)J高的消振水平。

SEM-Base VI可提供與以前型號(hào)平均高6 dB的隔振。此外，TMC的下一代控制器DC-2020采用了新的雙核處理器，為工具所有者和研究人員提供了一個(gè)非常簡(jiǎn)單易用的圖形界面，可實(shí)現(xiàn)快速系統(tǒng)評(píng)估和安全操作。通過(guò)以太網(wǎng)連接時(shí)，DC-2020將在用戶的瀏覽器中創(chuàng)建SEM-Base GUI，無(wú)需安裝其他軟件或應(yīng)用程序。此外，用戶也可以通過(guò)板載菜單驅(qū)動(dòng)的液晶顯示器（LCD）與控制器連接。

TMC主動(dòng)壓電消振SEM-Base VI 用于SEM和FIB

硬安裝技術(shù) - SEM-Base VI與所有內(nèi)部SEM振動(dòng)控制系統(tǒng)兼容，可以從0.6 Hz開(kāi)始主動(dòng)減輕低頻地面振動(dòng)。

主動(dòng)慣性振動(dòng)消除 - SEM-Base VI使用高靈敏度、低頻慣性速度傳感器，即使在安靜的地面上也能實(shí)現(xiàn)高水平的振動(dòng)衰減。

采用壓電技術(shù)的串行設(shè)計(jì) - D特的串行設(shè)計(jì)和專有的高力壓電技術(shù)可實(shí)現(xiàn)0.6 Hz至150 Hz的寬主動(dòng)帶寬和從2 Hz開(kāi)始減振90％的zhuo*yue慣性主動(dòng)振動(dòng)消除性能。

性能規(guī)格

主動(dòng)自由度	6
主動(dòng)帶寬	0.6 Hz - 100 Hz
被動(dòng)固有頻率	標(biāo)稱值為12 Hz
有效的主動(dòng)共振頻率	0.5 Hz
1 Hz時(shí)的隔振	40% - 70%
2 Hz時(shí)的隔振	90%
≥3 Hz時(shí)的隔振	90 - 98%
內(nèi)部噪音	<0.1 nm RMSd>
工作負(fù)載范圍	標(biāo)準(zhǔn)承重能力：900 - 2,500磅（408 - 1134千克）高承重能力：2,500 - 3,200磅（1134 - 1452千克）
磁場(chǎng)發(fā)射 4英寸（102毫米）處距離平臺(tái)	<0.02 μG broadband RMSd>

設(shè)計(jì)、尺寸、環(huán)境和效用要求

環(huán)境和安全	符合CE和RoHS標(biāo)準(zhǔn)
主動(dòng)隔振元件	最小承重能力為3300磅（1500千克）的壓電致動(dòng)器接收來(lái)自高壓放大器的信號(hào)，其輸出高達(dá)800 VDC。垂直執(zhí)行器支撐隔振的有效載荷
被動(dòng)隔振元件	單個(gè)硬彈性體（無(wú)需壓縮空氣源）
振動(dòng)傳感器元件	向下的地震檢波器型慣性傳感器，用于測(cè)量隔振器下方的地面振動(dòng)，并提供與振動(dòng)運(yùn)動(dòng)速度成正比的電壓
主動(dòng)反饋控制回路	在支撐隔振表面的彈簧下方測(cè)量、處理和支撐隔離面
尺寸（寬 x 深）	35.25 x 44.25英寸 895 x 1124毫米
高度	標(biāo)稱6.3英寸（160毫米）， SEM-Base關(guān)閉時(shí)不會(huì)改變
工作溫度	50° - 90° F 10° - 32° C
儲(chǔ)存溫度	-40° - 130° F -40° - 55° C
濕度	80% at 20o C, Max dewpoint: 18o C
系統(tǒng)電源要求	100、120、230、240 VAC 50/60 Hz AC； <600 W 符合CE標(biāo)準(zhǔn)
地面位移	<800 μin. (20 μm) below 10 Hzd>

內(nèi)置控制器規(guī)格

處理器	150/75 MHz雙核
采樣率	10 kHz
模擬輸出	16個(gè)通道
模擬輸入	16個(gè)通道
狀態(tài)燈	單個(gè)LED
前面板端口	1個(gè)串行USB 2.0 1個(gè)串行Micro-USB 1個(gè)以太網(wǎng)RJ-45 2個(gè)BNC
用戶界面	前面板液晶顯示屏超級(jí)終端上的字符菜單適用于Microsoft Windows的擴(kuò)展GUI 嵌入式以太網(wǎng)GUI